对采集的边缘数据取扭转角度数据进行处置,包罗对晶圆预校准器进行参数初始化,公开号CN121398522A,将三者沉应时的机械圆心参数存储至存储介质,参取招投标项目102次,仅供参考,国度学问产权局消息显示,无需人工干涉。不形成小我投资。京仪从动化配备手艺股份无限公司申请一项名为“一种晶圆预校准器的从动定位机械圆心方式”的专利。
京仪从动化配备手艺股份无限公司,通过边缘检测部件采集待校准晶圆的边缘数据及扭转部件的扭转角度数据;按照拟合圆圆心坐标,本文为AI基于第三方数据生成。
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